半導(dǎo)體封裝石墨模具的高硬度

進(jìn)入21世紀(jì)后，國際上一種全新的涂層，類金剛石-半導(dǎo)體封裝石墨模具涂層開始進(jìn)入工業(yè)界。半導(dǎo)體封裝石墨模具以其超高表面硬度、極低的摩擦系數(shù)、良好的化學(xué)穩(wěn)定性和極好的表面品質(zhì)而應(yīng)用于各種工業(yè)領(lǐng)域之中。

半導(dǎo)體封裝石墨模具的高硬度是因為在微觀組織結(jié)構(gòu)上它是由金剛石和石墨混合而成，金剛石成分決定了它具有高硬度。半導(dǎo)體封裝石墨模具的另一特性是它的原子結(jié)構(gòu)排布緊密，不象其它涂層內(nèi)部微觀結(jié)構(gòu)中有較多空隙和缺陷，加上由于主要成分為碳，半導(dǎo)體封裝石墨模具涂層的化學(xué)穩(wěn)定性，在防腐和防止材料粘黏等應(yīng)用上有良好的效果。

星弧涂層的半導(dǎo)體封裝石墨模具涂層是采用離子束技術(shù)通過將碳?xì)浠衔餁怏w離子而生成的一種含氫類金剛石涂層。由于其結(jié)構(gòu)中含有較多的金剛石成分，其薄膜硬度比由其它技術(shù)，如此控濺射或離子增強型化學(xué)氣相沉積而獲得的半導(dǎo)體封裝石墨模具更高。

同時，涂層制作工藝過程中的溫度可保持在150oc以下，這就確保在應(yīng)用于高精密模具上時，不會使工件產(chǎn)生變形和回火等不良現(xiàn)象。